超純水和蒸餾水兩種方法都產生化學性質接近純 H2O 的水。

超純水設備是通過一系列工藝技術生產的水，是一種不含任何雜質的水。

水中的導電介質幾乎全部去除，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，主要用于電子工業、醫藥行業。

蒸餾是制造純水的最古老方法之一。過濾后的水被加熱直至蒸發，變成蒸汽。這些蒸汽被收集在一個無菌容器中，在那里它冷凝并再次變成水。蒸餾水不能保證不存在污染物。事實上，蒸餾水幾乎從來都不是完全純凈的，它將從與空氣接觸的所有物質中吸收分子。一般普通蒸餾取得的水純度不高，經過多級蒸餾水，出水才可達到很純，成本相對比較高，應用會逐漸減少。蒸餾水能去除自來水內大部分的污染物，但揮發性的雜質無法去除，如二氧化碳、氨、二氧化硅以及一些有機物。新鮮的蒸餾水是無菌的，但儲存后細菌易繁殖；此外，儲存的容器也很講究，若是非惰性的物質，離子和容器的塑形物質會析出造成二次污染。

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